LED

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  • LED Wafer AFVI

5000p

- 可检测光片,PSS,Epi, LED FAB 工程样品
- 利用相机实现对LED wafer的 平边确认及宏观检测。
- 具备8个进料/出料口, 实现自动分类功能,
  有效实现工程自动化。

▪ 检测项目

  - 光片:Pit,颗粒
  - PR:残渣,划痕,颗粒
  - PSS:残渣,无图案,颗粒
  - Epi:Pit,真空,按压,颗粒
  - Pad 缺陷,外延缺陷,Finger 缺陷,ITO 缺陷,
    Mesa Line 等