▪ 整体Reticle领域中检测颗粒 :

   - 薄膜，薄膜框架，图案，反面

▪ 垂直、倾斜光学系统的多方位扫描

▪ 利用一个检测Recipe，方可检测各种Reticle不良

   - 无需对mask逐一进行设置。

▪ 全自动化应用处理
▪ 无图案领域中，可检测出0.5um大小的针孔/灰尘缺陷
▪ 可选功能包括确认颗粒所在位置（正/反面薄膜）
▪ 内置验证检查模组